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2024-01-31 发布于四川
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一种开盒器对接适配装置.pdf

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本发明公开了一种开盒器对接适配装置，包括框架机构，定位导向机构，以及前门机构；框架机构内部设置定位导向机构，框架机构侧边设置前门机构；框架机构可与晶舟传送盒对接，前门机构可对框架机构进行开关，框架机构内可接收晶舟，定位导向机构可对晶舟进行导向限位，框架机构内的晶舟可接收晶圆。本发明的有益效果为通过限位支撑舱板下端面的定位槽可与12寸晶舟传送盒上的载物台进行连接支撑，并且本装置可以兼容存储8寸晶舟，通过定位导向机构可对晶舟进行限位固定，通过前门机构可对框架机构进行封闭，并且可对门进行限位锁定，进一

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117476521A

(43)申请公布日2024.01.30

(21)申请号202311689534.5

(22)申请日2023.12.11

(71)申请人上海禾芯威半导体科技有限公司

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