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本发明提供一种微型细胞检测芯片的一体化制备方法，用于解决现有制备方法较为繁琐，制备得到的集成芯片中的微光学元件难以实现高质量成像，且耐高温高压性能较差等技术问题。该制备方法为：S1，根据微型细胞检测芯片的外形尺寸要求准备样品；S2，根据微型细胞检测芯片微舱室、微通道的结构及尺寸要求，编译工作台的移动路径；S3，将样品固定在工作台上；S4，启动飞秒激光器和工作台，工作台随预先编译的移动路径进行移动，飞秒激光器通过光学显微镜进行聚焦后在样品上扫描，得到微舱室和微通道的改性区域；S5，对改性区域依次进
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117463418A
(43)申请公布日2024.01.30
(21)申请号202311530252.0
(22)申请日2023.11.16
(71)申请人西安交通大学
地址710049
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