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本实用新型公开了一种半导体节流阀流量控制精度检测设备,涉及节流阀检测设备技术领域,包括底板,底板顶部通过定量抽风机设置连接管以及控制阀,底板顶部还设置流量表,出气管的出气端设置节流阀,底板顶部右侧通过测试座设置伸缩杆、夹持板、L型支板、电动推杆以及壳体,壳体上设置转轴、蜗轮、蜗杆以及旋转柄。本实用新型在蜗轮、蜗杆以及旋转柄的作用下,可以对节流阀阀门角度进行调节,同时可以对转动后角度旋转,在夹持板的作用下,可以对节流阀进行夹持固定,保证了节流阀与出气管的连接质量,也满足了对于不同大小节流阀的固定需
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220418803U
(45)授权公告日2024.01.30
(21)申请号202322073751.3
(22)申请日2023.08.03
(73)专利权人宏图(苏州工业园区)半导体技术
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