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2024-01-31 发布于四川
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本公开提供一种治具，包括设置于底座上的面板、光源以及定位机构；面板具有用于承托目标元件的承托面，承托面位于面板背离光源的一侧，面板能够透过来自光源的光线；面板的承托面设置有槽及与槽连通的槽通气孔；槽通气孔用于连通负压源，能够使槽与目标元件之间形成负压，将目标元件吸附于承托面；定位机构设置于面板的承托面的一侧，用于定位目标元件。操作人员可以利用上述治具对目标元件中的针孔、气泡等缺陷进行识别，在后续调值工序中，根据识别结果进行编程，规避缺陷部位，然后由程序控制对薄膜电阻的切割，实现对薄膜电阻的精确调

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220420540U

(45)授权公告日2024.01.30

(21)申请号202322074608.6H01L21/66(2006.01)

(22)申请日2023.08.

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