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一种产生掺杂碱金属或卤素的耦合气体团簇离子束的装置和方法.pdfVIP

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  • 2024-01-31 发布于四川
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一种产生掺杂碱金属或卤素的耦合气体团簇离子束的装置和方法.pdf

    本发明设计了一种可产生掺杂性单电荷态碱金属正离子或卤素负离子的耦合气体团簇离子束的装置，并提出了用于产生该团簇离子束的方法。本发明旨在通过一个表面电离离子源所产生的低能单电荷态碱金属正离子或卤素负离子来掺杂产生耦合气体团簇离子束，以此提高装置的工作效率。在反应过程中用单原子离子代替分子离子或络合离子，避免了掺杂性离子在掺杂过程中的碎裂现象。本发明通过由大量气体原子(例如Ar)组成的中性气体团簇束流来捕获低能量的单电荷态碱金属正离子或卤素负离子，从而形成耦合气体团簇离子束。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN113643950A

    (43)申请公布日2021.11.12

    (21)申请号202110866354.4

    (22)申请日2021.07.29

    (71)申请人宜昌后皇真空科技有限公司

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