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本发明电沉积设备技术领域，提供一种放射源电沉积装置。放射源电沉积装置包括槽体、阴极组件；槽体包括第一构成部和第二构成部，第一构成部和第二构成部可拆卸连接，第一构成部和第二构成部中的至少一者的设置有顶部开口的第一凹槽，第一凹槽通过固定支架放置有阳电极，第一构成部和第二构成部相接位置设置有第二凹槽和电沉积液接触孔，电沉积液接触孔连通第二凹槽和第一凹槽，电沉积液接触孔与第二凹槽连接位置形成限位台阶；阴极组件设置在第二凹槽内，限位台阶对阴极组件形成限位。本发明可将模块化的阴极组件限位在第二凹槽内，将第一
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117468072A
(43)申请公布日2024.01.30
(21)申请号202311521541.4
(22)申请日2023.11.15
(71)申请人原子高科股份有限
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