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在存储块之间具有稳定结构的三维存储器件以及用于形成其的方法.pdfVIP

在存储块之间具有稳定结构的三维存储器件以及用于形成其的方法.pdf

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    公开了3D存储器件以及用于形成其的方法的实施例。在一个示例中，一种3D存储器件包括：在平面图中的多个存储块；以及在平面图中横向地延伸以将存储块中的相邻存储块隔开的至少一个稳定结构。存储块中的每个存储块包括：存储堆叠体，其包括垂直地交错的导电层和第一电介质层；以及多个沟道结构，其各自垂直地延伸穿过存储堆叠体。稳定结构包括电介质堆叠体，电介质堆叠体包括垂直地交错的第二电介质层和第一电介质层。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN112119497A

    (43)申请公布日2020.12.22

    (21)申请号202080002191.9H01L27/11573(2017.01)

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