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FPC曝光机设计技术手记(3)
——曝光机光源系统选型与设计;平行光曝光机的光源类型;影响曝光解析度的光源参数;曝光机光源的设计要素;光源系统技术要求;曝光机曝光能量系统的调试;曝光效果调整管理三要素;光的反射、干涉、衍射与驻波对曝光解析度的影响;9;铬版光罩形成的光衍射对曝光机分辨率的影响;减少衍射光影响的方法;光源透镜的数值孔径(NumericalAperture:NA);曝光分辨率的理论定义Resolution;提高曝光分辨率的技术路径;干膜保护离型膜与光偏角/平行半角对光线偏折的影响;曝光机光源光偏角检测器;三种LED平行光源的典型结构;面阵光源的典型示例;一组面阵光源与投射光源的实体照片;光学投射光源的结构;光学投射光源与面阵光源的结构对比;面阵光源与光学投射光源的特性对比;LED平行光光学投射光源的限制要素;一种卷对卷FPC曝光机规格:面阵LED光源;一种片对片FPC曝光机规格参数:面阵LED光源;一种离散LEDFPC曝光机阵列平行光源模块;离散LEDFPC曝光机阵列平行光源的工作方式;2020/12/7;一种单面曝光机的光源光路结构设计;一种双面曝光机的光源光路结构设计;2020/12/7;2020/12/7;2020/12/7;曝光机本体曝光解析能力检测铬版;曝光机曝光解析力性能独立评价方法;日积月累,铁杵成针!
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