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本发明涉及半导体制造设备技术领域，尤其为一种晶圆清洗用摆臂装置，包括固定底座，所述固定底座的顶部固定连接有支柱，所述支柱的顶端固定连接有支撑板，所述支撑板顶部远离支柱的一端固定连接有伺服电机，所述支撑板的底部分别设置有摆臂上壳体和摆臂下壳体。本发明通过设置伺服电机驱动摆臂转动，并通过摆臂壳体内部的传动机构驱动喷嘴转动，使毛刷摆臂装置具有能够调整药液喷布方向的优点，从而能够通过调节药液的喷布方向实现对晶圆的有效清洗，因而能够提升晶圆产品的生产质量，此外，通过调节喷嘴方向使得药液喷布方向与晶圆运动方
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117476508A
(43)申请公布日2024.01.30
(21)申请号202311763161.1
(22)申请日2023.12.21
(71)申请人苏州智程半导体科技股份有限公司
地
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