GB/T 43612-2023碳化硅晶体材料缺陷图谱.pdf

ICS29.045

CCSH80

中华人民共和国国家标准

/—

GBT436122023

碳化硅晶体材料缺陷图谱

Collectionofmetallorahsondefectsinsiliconcarbidecrstalmaterials

gpy

2023-12-28发布2024-07-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT436122023

目次

前言…………………………Ⅰ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4缩略语……………………2

5碳化硅晶体材料缺陷……………………2

5.1晶锭缺陷……………2

5.2衬底缺陷……………4

5.3外延缺陷……………8

5.4工艺缺陷……………12

6缺陷图谱…………………13

6.1晶锭缺陷图谱………………………13

6.2衬底缺陷图谱………………………14

6.3外延缺陷图谱………………………22

6.4工艺缺陷图谱………………………41

参考文献……………………44

索引…………………………45

/—

GBT436122023

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

。