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808nm高功率垂直腔面发射激光器阵列研究的综述报告

808nm高功率垂直腔面发射激光器阵列是一种新型光电元件，具有体积小、功率高、发射稳定性好等优点，在军事、航空航天、通讯、医学等领域有着广泛的应用前景。本文将从阵列结构、制备技术、性能特点、应用前景等方面进行综述。

一、阵列结构

垂直腔面发射激光器阵列由多个单元激光器组成，每个单元激光器都是垂直膜堆结构，包括衬底、反射镜、活性区、波导层、顶部反射镜等几个部分。其结构示意图如图1所示。

图1.高功率垂直腔面发射激光器阵列结构示意图

二、制备技术

高功率垂直腔面发射激光器阵列的制备技术主要包括外延生长、制作阵列、表面处理等几个步骤。

1.外延生长

外延生长是垂直腔面发射激光器阵列的关键步骤之一。当前采用最流行的制备方法是金属有机气相外延（MOCVD）技术，即在石英衬底上进行高温外延反应。生长时需要控制厚度均匀性、材料纯度、缺陷密度等参数，以获得高质量的外延薄膜。

2.制作阵列

制作阵列需要先在外延薄膜表面形成电极结构，然后利用光刻技术和湿法蚀刻来制作阵列结构。最后进行芯片分离和光学特性测试。

3.表面处理

阵列芯片在加工过程中会留下一些表面缺陷和杂质，会影响激光发射性能。因此需要进行表面处理，目前常用的方法是化学机械抛光。

三、性能特点

高功率垂直腔面发射激光器阵列具有以下的性能特点。

1.发射功率高

高功率垂直腔面发射激光器阵列的单位面积发射功率比单个激光器高出许多，因此可以对一些需要高功率激光的领域提供更好的选择。

2.发射波长单一

高功率垂直腔面发射激光器阵列的发射波长非常稳定，具有较高的光谱纯度，能够提供较高的光谱性能。

3.体积小

采用阵列的方式可以大大减小激光器的尺寸，便于在系统集成中的应用。

4.发光区域小

高功率垂直腔面发射激光器阵列的单元激光器发光面积很小，而且发光范围可以通过电流驱动调节，发光位置可精确定位，从而提高了中心亮度和功率密度，降低了光损耗。

四、应用前景

高功率垂直腔面发射激光器阵列在军事、航空航天、通讯、医学等领域有着广泛的应用前景。

1.军事应用

高功率垂直腔面发射激光器阵列可用于高精度光电导引弹发射装置、高能激光武器等领域。

2.航空航天应用

高功率垂直腔面发射激光器阵列可用于火箭发动机推进剂喷雾实时测量，精准飞行朝向控制等领域。

3.通讯应用

高功率垂直腔面发射激光器阵列可用于短距离高速光通讯等领域。

4.医学应用

高功率垂直腔面发射激光器阵列可用于癌症治疗、血流检测、光动力学治疗等领域。

综上所述，高功率垂直腔面发射激光器阵列是一种具有广阔应用前景的新型光电元件。虽然其制备技术比较复杂，但其性能特点的优越性和应用前景的广泛性，将推动其在未来得到更为广泛的应用和发展。