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适用于高频SAW器件的h-BN/diamond多层膜结构薄膜的制备与研究的开题报告

【开题报告】

一、选题背景和意义：

随着通信技术与电子技术的快速发展，高频无线传输系统已成为人们生活和社会的必要组成部分。在高频无线应用中，声表面波（SAW）器件作为一种高频传输基础器件，广泛应用于无线通信、卫星通讯、雷达系统以及电子信息领域等。而SAW器件的工作频率在数GHz以上，需要使用高质量、高可靠性的材料来制备，同时还需要材料具有良好的机械性能、热稳定性和化学稳定性等。

目前，国内外学者已经发现，使用二维材料掺杂BN对SAW器件的性能改善具有较大潜力。在此基础上，本研究将探索一种新的多层膜结构，通过在h-BN表面生长CVD金刚石薄膜来制备适用于高频SAW器件的材料，旨在进一步提高SAW器件的性能稳定性和可靠性。

二、研究目的和内容：

1.研究h-BN表面CVD金刚石薄膜的制备工艺，探究主要生长参数对薄膜性质的影响；

2.通过XRD、SEM、TEM等表征手段分析h-BN/diamond多层膜的结构、成分和形貌等性质；

3.研究h-BN/diamond多层膜的光学、热学、机械学等性能，以及其在高频SAW器件方面的应用潜力；

4.探索了解多层膜结构对SAW器件性能稳定性的影响，为提高高频无线传输系统的性能贡献力量。

三、研究方法：

1.化学气相沉积（CVD）生长法制备h-BN/diamond多层膜；

2.采用XRD、SEM、TEM和AFM等表征技术对薄膜的结构、形貌等性质进行分析；

3.利用显微硬度计、纳米压痕仪等仪器测试膜的机械性能；

4.采用激光光学测量仪、热膨胀仪等仪器对膜的光学性质和热学性质进行测试。

四、预期结果：

1.成功制备出h-BN/diamond多层膜，并分析其表面形貌和结构；

2.研究多层膜性能的影响因素和机理，分析多层膜在高频SAW器件方面的应用潜力；

3.研究多层膜对SAW器件性能稳定性的影响机理，为提高SAW器件性能和稳定性提供支持。

五、可行性分析：

1.本研究所提出的多层膜结构的制备方法已有前人先例，并且取得了一定的研究成果；

2.本研究将采用多种表征手段对多层膜的结构、形貌和性能进行全面分析，测试方法可行；

3.本研究所预期的结果与应用前景有相当关联性，有望取得一定的研究成果。

六、计划进度：

1.2022年3月至5月：熟悉相关文献，确定研究方向和目标；

2.2022年6月至9月：制备多层膜样品，采用XRD、SEM、TEM等表征手段进行表征，初步分析多层膜结构和形貌；

3.2022年10月至2023年3月：采用显微硬度计、纳米压痕仪等仪器测试膜的机械性能；

4.2023年4月至2023年9月：采用激光光学测量仪、热膨胀仪等仪器对膜的光学性质和热学性质进行测试，并分析多层膜在高频SAW器件方面的应用潜力；

5.2023年10月至2023年12月：撰写研究报告并进行答辩。

七、预期贡献：

本研究将为开发高频SAW器件应用领域的新材料提供一定的理论和实验基础，有助于提高SAW器件的性能和可靠性，为高频无线传输系统的发展和应用做出贡献。