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公司研究2024.02.02
微导纳米（688147）公司深度报告
ALD+CVD双轮驱动，薄膜新贵大有可为
方正证券研究所证券研究报告
分析师
公司简介：公司成立于2015年，核心技术ALD率先应用于光伏领域，
李鲁靖登记编号：S12205230900022020年获得半导体领域订单并于2021年取得销售，此外公司积极开发
ALD技术在其他新兴领域的应用。当前公司具备ALD、CVD两大技术路线，
面向光伏、半导体和其他新兴领域三大场景。
强烈推荐(维持)
总体而言，光伏业务面向N型电池技术，是目前的基本盘，半导体业务在
公司信息放量初期，增长弹性充足，其他新兴领域正在积极探索，营收贡献较小。
行业光伏加工设备从2023年业绩预告来看，公司订单陆续交付，收入利润高速增长，规模
最新收盘价(人民币/元)33效应之下盈利能力大幅改善，归母净利率大幅提升近10pct。接单表现强
劲，在手订单十分充足，后续业绩增长有保证。
总市值(亿)(元)149.97
52周最高/最低价(元)61.98/31.54一、半导体：核心产品为ALD,拓展开发了PECVD和LPCVD两大CVD产品
1）ALD设备市占率有望提升：ALD技术具备自限制生长的特点，适合复杂
历史表现结构的薄膜生长，在较为先进的存储、逻辑芯片制造工艺中必不可
62%少，制程演进使得ALD在薄膜设备市场规模占比上升。Gartner数据
45%显示2022年全球/中国大陆半导体ALD设备市场规模约30.26/7.95亿
美元，我们预测2025年全球/中国大陆半导体ALD设备市场规模约
28%
42.81/14.13亿美元，三年复合增速分别为6.90%、15.35%。目前ALD
11%
设备国产化率不足2%，国内公司的优势ALD产品基本差异化竞争，公
-6%
司为国产ALD龙头，技术团队产业经验丰富，接单表现强劲，预计市
-23%
23/2/223/5/423/8/323/11/2占率持续提升；
微导纳米沪深300
2）CVD设备有望打开增长空间：CVD在薄膜沉积设备市场规模占比最大。
数据来源：wind方正证券研究所
2022年PECVD+LPCVD（非管式）的全球/中国大陆市场规模合计为
87.77/23.05亿美元，我们预测2025年PECVD+LPCVD（非管式）的全
相关研究球/中国大陆市场规模合计为107.02/35.32亿美元，二者市场规模是
《微导纳米(688147)：盈利能力大幅提升，订ALD设备市场规模的2.5-2.9倍。目前CVD设备的国产化率仍然处于
单水平成倍增长》2024.01.25低位，公司实施差异化竞争策略，以硬掩模为切入点进入CVD领域，
《微导纳米(688147)：Q3业绩表现亮眼，在首台PECVD设备发往
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