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本发明公开了一种应用于CP测试的晶圆检测探针台，其包括机架与安装在机架上的大理石基座；大理石基座上安装有四轴运动机构，四轴运动机构的末端安装有晶圆载盘；四轴运动机构依次包括X轴平移座、Y轴平移座、Z轴平移座以及旋转台，四者中，后者通过驱动机构连接前者；晶圆载盘固定在旋转台上；大理石基座的上方安装有第一视觉组件、测高机构以及探针卡安装机构；Y轴平移座上还安装有能够相对于Y轴平移座可控升降的第二视觉组件。本发明中，基于四轴运动机构以及两组视觉组件，可以对晶圆载盘上的晶圆进行姿态调整，以及确定晶圆与探
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117491694A
(43)申请公布日2024.02.02
(21)申请号202311286878.1
(22)申请日2023.10.07
(71)申请人迈科微纳半导体技
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