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本发明涉及一种用于求取并且提供描述等离子体工艺的数据流的信号处理系统，所述信号处理系统具有：a)检测装置(10)，所述检测装置设立为用于检测在预给定的时间区间(n＝T1…T8)中重复的信号变化过程(100，101)，所述信号变化过程根据等离子体工艺状态改变，b)求取装置(12，14)，所述求取装置设立为用于基于在各一个时间区间中检测到的至少两个信号变化过程(100，101)产生所述数据流，其中，所述数据流具有用于所述等离子体工艺的连续求取出的稳定性特征数值。也公开一种用于产生用于等离子体的脉冲式
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117501403A
(43)申请公布日2024.02.02
(21)申请号202280042869.5(74)专利代理机构永新专利商标代理有限公司
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