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一种用于微光刻光掩模(100)的缺陷(D、D’)的粒子束诱导处理的方法，其包括下列步骤：a)提供(S1)该光掩模(100)的至少一部分的图像(300)；b)确定(S2)该图像(300)中的该缺陷(D、D’)的几何形状是否为修复形状(302、302’)，该修复形状(302、302’)包含n个像素(304)；c)以计算机实现的方式将该修复形状(302、302’)细分(S3)成k个子修复形状(306)，k个子修复形状(306)中的第i个具有mi个像素(304)，其是该修复形状(302、302’)的n个
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117501178A
(43)申请公布日2024.02.02
(21)申请号202280042961.1(74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所
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