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2024-02-03 发布于四川
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一种金属掩膜板清洗装置.pdf

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本实用新型提供一种金属掩膜板清洗装置，包括用于装载金属掩膜板的清洗架及依次对清洗架上的金属掩膜板进行清洗的清洗机，所述清洗机包括并列设置的两组输送机及安装在清洗机中部上端的清洗室，输送机将清洗架依次输送进清洗室内进行清洗；所述清洗架包括架板及可拆卸安装在架板上的若干组架框。人员将需要清洗的金属掩膜板依次间隔插设在架框的夹持槽中，通过并列设置的第一夹杆件和第二夹杆件对金属掩膜板进行固定，并依次将金属掩膜板安装在多个架框内，将架框插接安装在架板上，人员将清洗架依次放置在输送机上，并通过输送机送至清洗

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220432984U

(45)授权公告日2024.02.02

(21)申请号202321652864.2

(22)申请日2023.06.26

(73)专利权人安徽浚颍光电有限公司

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