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用于高传导性阀的控制板.pdfVIP

用于高传导性阀的控制板.pdf

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    一种高纯度流体控制阀包括可移动的控制板，该控制板具有流通通道以增强内部阀体积的流体扫掠。该阀为喷射式和阀座式的，其使用嵌套设置的孔口凸脊，以在较小的致动器移动的情况下实现高传导。通过选择性地将比构成孔口凸脊的材料更软的材料引入到控制板中，可以额外地提高阀阻断状态下的密封性。控制板特别适用于高传导、快速动作和比例控制的应用，比如半导体制造中的气体输送。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117489811A

    (43)申请公布日2024.02.02

    (21)申请号202311512217.6

    (22)申请日2018.11.13

    (30)优先权数据

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