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双腔的基座匹配装置和基座匹配方法.pdfVIP

双腔的基座匹配装置和基座匹配方法.pdf

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    本申请提供了一种双腔的基座匹配装置和基座匹配方法。该基座匹配装置包括状态检测装置和控制器，每个基座的升降杆设置有状态检测装置，状态检测装置在外力驱动下带动升降杆升降，并且在基座的上升过程中检测基座是否到达隔离位置，在隔离位置，基座与腔体内的隔板相接触以使上腔室和下腔室相互流体隔离，每个基座的状态检测装置相互连接，以使每个基座同步升降；控制器被配置为：根据状态检测装置的检测结果判断每个基座是否到达其隔离位置；当每个基座均到达隔离位置后，根据状态检测装置的检测结果判断两个基座的高度是否匹配；其中，当

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117488287A

    (43)申请公布日2024.02.02

    (21)申请号202311465889.6

    (22)申请日2023.11.06

    (71)申请人研微（江苏）半导

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