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本发明涉及晶体键合技术领域，尤其是一种高效解键合装置，包括支撑板，支撑板的底部设有支撑腿，放置槽的数量为两个，且设置于支撑板的顶部一端，连接杆一的数量为两个，连接杆一转动连接在支撑板的顶部，且贯穿于支撑板的底部延伸至外，连接杆一的底部设有驱动机构，连接板一固定连接在连接杆一的顶部，气缸一卡扣连接在连接板一的顶部，气缸一的轴端固定设有可调式夹取机构，加工台的底部固定连接在支撑板的顶部，立板固定连接在支撑板的一侧，导向口设置于支撑板的顶部，该新型的高效解键合装置，一拖二往复式送料，提高工作效率，具有
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115323497A
(43)申请公布日2022.11.11
(21)申请号202210839122.4H01L21/687(2006.01)
(22)申请日2022.07
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