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本发明提供一种基板处理装置，防止处理液在基板面上的再附着。本发明的实施方式的基板处理装置包括：处理室、旋转台、供给部、受液部、送风部以及气流形成部。处理室对基板进行处理。旋转台设置于处理室内，保持基板并使所述基板旋转。供给部对旋转台上保持的基板供给处理液。受液部以围绕旋转台的方式设置，在受液部的上端具有圆形的开口，对因旋转台的旋转而从旋转的基板飞散的处理液进行接挡。送风部设置于处理室的顶板侧，使处理室的内部产生下降气流。气流形成部设置于受液部与送风部之间，形成为：在气流形成部的上端及下端分别具有
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117497446A
(43)申请公布日2024.02.02
(21)申请号202310872827.0
(22)申请日2023.07.17
(30)优先权数据
2022-123167202
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