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本发明公开了高真空气动插板阀，具体涉及插板阀技术领域，包括阀体的外壁固定连接有电动推杆；本发明在阀体的外壁设置了滑动齿板，当在通过插板阀对半导体设备真空区域进行隔离时，为了提高对真空区域的密封效果，可以打开电动推杆通过滑动齿板的滑动带动连接齿轮进行转动，连接齿轮的转动，通过摆动杆的转动，带动连接柱沿限位槽的内壁滑动，并通过滚轮的连接，带动连接板沿滑槽的内壁滑动，起到对阀板伸缩运动的作用，并通过齿板与齿轮之间的自锁效果，带动阀板对阀口处进行稳定密封，同时，通过限位块和定位块的连接，对阀板进行限位作
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117489808A
(43)申请公布日2024.02.02
(21)申请号202311679330.3F16K31/52(2006.01)
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