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用于输送半导体晶片的装置.pdfVIP

用于输送半导体晶片的装置.pdf

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    本发明涉及一种能够容易地调节容纳并支撑晶片的各机械手之间的间隔的半导体晶片输送装置，该装置包括：固定机械手和多个移动机械手，其分别支撑半导体晶片；固定框架，其为了支撑上述固定机械手而在一端与上述固定机械手配合；多个移动框架，其为了使上述各移动机械手分别沿上下方向移动而在一端分别与上述各移动机械手配合；一对第一滑块，其分别与上述各移动框架中的一对移动框架的另一端配合，且使上述一对移动框架随第一滚珠丝杠的旋转而沿上下方向移动；以及一对第二滑块，其分别与上述各移动框架中的另一对移动框架的另一端配合，且

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117501427A

    (43)申请公布日2024.02.02

    (21)申请号202180099590.6(74)专利代理机构北京冠和权律师事务所

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