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本申请公开了一种电路版图处理方法、装置、设备、存储介质及程序产品,涉及微纳加工技术领域。该方法包括:获取芯片的初始电路版图;所述初始电路版图中包含所述芯片中的目标线路的初始位置信息;获取所述目标线路的边框校正值;所述边框校正值是基于芯片加工过程中的刻蚀工艺的误差设置的校正值;基于所述芯片中的目标线路的初始位置信息,以及所述边框校正值,对所述目标线路在所述初始电路版图中的边界进行校正,获得校正后的电路版图;所述校正后的电路版图用于通过刻蚀工艺制备所述芯片中的所述目标线路。本方案可以在芯片制造的刻蚀
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117495762A
(43)申请公布日2024.02.02
(21)申请号202210880220.2
(22)申请日2022.07.25
(71)申请人腾讯科技(深圳)
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