ESD静电防护基础技术.pptxVIP

1汇报人：AA2024-01-29ESD静电防护基础技术

目录contents静电基础知识ESD防护原则与方法设备与工具ESD防护技术人员与环境ESD防护技术静电检测与评估方法ESD事件应急处理与案例分析

301静电基础知识

两种不同物质相互摩擦时，由于电子的转移而使物体带电。摩擦起电当一个带电体靠近一个导体时，由于电荷间的相互作用，导体内部的电荷会重新分布，导致导体带电。感应起电气体或液体中的原子或分子受到高能粒子的撞击而电离，产生正负离子，使物体带电。电离起电静电产生原因

静电具有高电位、低电量、小电流和作用时间短的特点。静电放电可能引起电子设备故障、击穿集成电路、引发火灾和爆炸等安全事故，还会对人体产生电击和衣物贴身等不良影响。静电特性及危害静电危害静电特性

静电放电现象静电放电类型包括电晕放电、刷形放电、火花放电和传播型刷形放电等。静电放电过程静电放电是带电体周围的场强超过周围介质的绝缘击穿场强时，因介质产生电离而使电荷迁移的过程。静电放电影响因素包括带电体的形状、大小、电压、周围介质的介电常数和绝缘强度等因素。

302ESD防护原则与方法

抑制静电产生加速静电泄放静电中和防止静电放电ESD防护基本原则通过控制环境湿度、使用防静电材料等措施，减少静电的产生。利用离子风、离子棒等装置产生正负离子，中和空气中的静电。采用接地、导电性表面处理等方法，使静电迅速泄放到大地中。采取屏蔽、隔离等措施，避免静电放电对敏感器件造成损害。

穿戴防静电服、防静电鞋，佩戴防静电手环等，避免人体静电对电子产品的危害。人体防静电设备防静电包装防静电环境防静电对生产设备、工具等进行防静电处理，如使用防静电涂料、添加导电材料等。采用防静电包装材料，如防静电泡沫、防静电袋等，确保产品在运输和存储过程中不受静电影响。控制生产环境的湿度、温度等参数，减少静电的产生和积累。常见ESD防护措施

03ESD防护一般区普通生产区域，对静电敏感度较低，但仍需注意防止静电放电对产品的潜在危害。01ESD防护核心区对静电非常敏感的区域，如集成电路生产线等，需采取严格的防静电措施。02ESD防护缓冲区与核心区相邻的区域，静电敏感度较低，但仍需采取一定的防静电措施。ESD防护区域划分

303设备与工具ESD防护技术

确保设备接地良好，以泄放静电电荷，防止静电积累。设备接地绝缘材料选择设备布局选用抗静电或导电性能良好的材料，减少静电产生和积累。合理规划设备布局，避免不同电位设备相互干扰，降低静电放电风险。030201设备ESD防护设计要点

选择具有ESD防护功能的工具，如防静电手环、防静电工作服等。工具选用定期对工具进行ESD性能检测，确保其防护功能有效。工具检测对工具进行定期清洁和保养，保持其良好状态，延长使用寿命。工具维护工具ESD防护选用及管理

制定并执行严格的ESD防护操作规范，确保操作人员了解并遵守相关规定。操作规范在操作前对设备、工具及环境进行静电消除处理，如使用离子风机等设备。静电消除确保操作人员佩戴防静电手环，并将手环与接地线连接，以保持人体与大地同电位。接地措施控制操作环境的湿度和温度，减少静电产生和积累。同时，避免在易产生静电的环境中进行操作。环境控制操作过程中的ESD防护措施

304人员与环境ESD防护技术

ESD基础知识培训包括静电产生原理、危害及防护措施等基础知识。ESD操作规范培训针对不同岗位和工艺流程，制定相应的ESD操作规范并进行培训。ESD意识培养通过宣传、教育等方式提高员工对ESD危害的认识和防护意识。人员ESD防护培训与教育

保持工作场所适宜的湿度，以减少静电产生和积累。湿度控制确保工作台面、设备、工具等良好接地，及时泄放静电。接地措施采用防静电地板、工作台垫、包装袋等材料，减少静电产生。防静电材料使用工作环境ESD防护改善措施

防静电手环/脚环佩戴防静电手环或脚环，及时将人体静电泄放到大地。个人防护用品使用防静电手套、防静电工具等，减少操作过程中静电的产生和传导。防静电服装穿戴防静电服、防静电鞋等，避免人体静电对产品和设备造成影响。个人防护措施及用品选择

305静电检测与评估方法

通过测量物体表面的静电电位差来确定静电电荷量，常用的有接触式和非接触式两种类型。静电电压表用于测量静电场强度，即单位距离上的电位差，以判断静电放电的危险性。静电场强计通过直接或间接的方式测量物体表面的静电电荷量，以评估静电放电的潜在风险。静电电荷计静电检测仪器及原理介绍

明确需要检测的物体或环境，如设备、人员、工作区域等。确定检测对象和区域根据检测对象和目的，选择适当的静电检测仪器。选择合适的检测仪器按照仪器操作规范，对检测对象进行静电电荷量、静电场强等参数的测量。进行现场检测详细记录各项检测数据，包括时间、地点、仪器型号、检测参数等。记录检测结果