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2024-02-03 发布于四川
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本申请涉及一种自动化晶圆插片收集机构，包括辅助收集组件、插片收集架、插片传送组件以及控制组件，插片传送组件传送插片至插片收集架收集，辅助收集组件包括第一工作台和辅助收集单元，第一工作台设置有与插片传送组件固定连接的连接杆；辅助收集单元包括活动连接件、活动板、Z轴牵引件以及安装单元，活动连接件安装于第一工作台，活动板的下段通过活动连接件与第一工作台活动连接，Z轴牵引件的一端固定于第一工作台，Z轴牵引件的另一端固定于活动板；活动板安装有Y轴驱动件，Y轴驱动件驱动安装单元移动，插片收集架安装于所述安装

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220431467U

(45)授权公告日2024.02.02

(21)申请号202321791321.9

(22)申请日2023.07.07

(73)专利权人东莞市雕润数控科技有限公司

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