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芯片清洗用二氧化碳的伴冷系统及输送系统.pdfVIP

芯片清洗用二氧化碳的伴冷系统及输送系统.pdf

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    本发明提供一种芯片清洗用二氧化碳的伴冷系统及输送系统，该芯片清洗用二氧化碳的伴冷系统包括原料储罐、第一输送管路、缓冲储罐、隔膜泵和冷冻机，原料储罐、第一输送管路和缓冲储罐依次连通，第一输送管路用于输送液态二氧化碳，隔膜泵位于原料储罐和缓冲储罐之间的第一输送管路上，原料储罐与隔膜泵之间的第一输送管路的至少一段为伴冷管路，伴冷管路包括液体输送管和位于液体输送管外的制冷剂管路，制冷剂管路连通冷冻机，液体输送管内输送液态二氧化碳，制冷剂管路内流动乙二醇制冷剂。本发明提供的芯片清洗用二氧化碳的伴冷系统及输

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117490268A

    (43)申请公布日2024.02.02

    (21)申请号202311844527.8

    (22)申请日2023.12.29

    (71)申请人广州广钢气体能源

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