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本发明公开一种反式钙钛矿电池锌、钴共掺杂NiOX薄膜的制备方法，包括以下步骤：S1、选取衬底，先用洗涤剂、去离子水超声清洗后，然后依次放入丙酮、无水乙醇中分别超声清洗，用氮气枪将衬底干燥；S2、把衬底采用射频等离子体叠加脉冲负偏压对衬底清洗；S3、把清洗后的衬底采用直流/射频耦合反应溅射工艺在ITO表面沉积NiOX薄膜，同时采用直流溅射工艺在ITO表面共沉积金属锌和金属钴；S4、溅射完成后，待衬底冷却到室温，加热衬底恒温后，再次冷却至室温取出样品，得到锌、钴共掺杂NiOX薄膜，本发明制备的掺杂N
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117488254A
(43)申请公布日2024.02.02
(21)申请号202311374555.8C23C14/02(2006.01)
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