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本实用新型涉及半导体加工技术领域，公开一种开盒设备。其中开盒设备包括支撑平台和开盒旋钮，所述支撑平台用于承载所述晶圆盒，所述支撑平台设置有第一连接孔；所述开盒旋钮的第一端转动连接于所述第一连接孔，所述晶圆盒的底座放置于所述支撑平台上，所述底座上设置有旋转开关，所述开盒旋钮连接于所述旋转开关，所述开盒旋钮转动至第一工位，以使所述旋转开关打开；所述开盒旋钮转动至第二工位，以使所述旋转开关关闭。本实用新型无需将晶圆盒倒置，操作简单，且采用开盒旋钮进行开盒，不易损坏旋转开关，提高晶圆盒的使用寿命。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220456375U
(45)授权公告日2024.02.06
(21)申请号202322091757.3
(22)申请日2023.08.04
(73)专利权人昆山梦显电子科技有限公司
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