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本发明公开一种硅基电子特气用精密过滤器的检修系统及其方法,包括过滤器本体,所述过滤器本体包括壳体和设置在壳体内的滤芯,进料阀通过进料管道与壳体相连,滤芯出料侧通过出料管道与出料阀相连;进料管道,用于向过滤器本体供应物料,在进料管道上设置有第一废液接口;所述过滤器本体的壳体底部设置有第二废液接口;所述壳体顶部连接有进气口;出料管道,用于排出经过滤器本体过滤后的物料,在出料管道上设置有第三废液接口和检测接口,在出料管道的出料侧设置有出料阀;本方案减少了产品冲洗时间,并减少了合格产品的冲洗消耗,提升了
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117504473A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311730089.2
(22)申请日2023.12.15
(71)申请人洛阳中硅高科技有限公司
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