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本发明提供一种剥离方法，在不会带来损伤的情况下将以分割的状态载置在基板上的光器件层移设至移设部件。该剥离方法包括下述步骤：缓冲层形成步骤，在基板的正面上形成缓冲层；光器件层形成步骤，在该缓冲层上形成光器件层；分割步骤，在该基板的正面上将该缓冲层和该光器件层按照各个器件进行分割；移设部件接合步骤，在该光器件层的正面接合移设部件；缓冲层破坏步骤，使具有对于该基板来说为透过性、对于该缓冲层来说为吸收性的波长的脉冲激光从该基板的背面侧透过该基板而照射至该缓冲层，破坏该缓冲层；以及光器件层移设步骤，将该光
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN111180391A
(43)申请公布日
2020.05.19
(21)申请号20191
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