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一种采用射频铺助成膜和高频脉冲偏压的制膜装置及工艺.pdfVIP

一种采用射频铺助成膜和高频脉冲偏压的制膜装置及工艺.pdf

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    本发明公开了一种采用射频铺助成膜和高频脉冲偏压的制膜装置及工艺，涉及制膜设备技术领域，包括控制模块、原料模块、加工模块和成品检测模块，所述控制模块位于最前端，所述成品检测模块位于尾端，所述原料模块和加工模块依次排列在控制模块的后方，且多个模块之间相互连通，所述原料模块包括检测单元、监控单元、调节单元和送料单元。本发明多个传感器可以对制膜液进行时刻的监控，保证制膜液保持在最佳状态，还可以通过控制模块智能调节出料量，保证膜的生产快速精准。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117507436A

    (43)申请公布日2024.02.06

    (21)申请号202311790079.8

    (22)申请日2023.12.25

    (71)申请人创隆实业（深圳）有限公司

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