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2024-02-07 发布于四川
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一种用于覆晶薄膜制造的表面处理方法及其设备.pdf

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本发明公开了一种用于覆晶薄膜制造的表面处理方法及其设备，包括第一电机和支撑机构，所述第一电机设置在基座内的安装槽内，且基座设置在底板上，所述基座上开设有第一存储腔和第二存储腔，且基座内设置有水冷机构，所述第一电机的输出端与转盘连接，所述转盘内开设有定位槽。该用于覆晶薄膜制造的表面处理方法及其设备，在第一电机的驱动下，工件将依次旋转至清洗管网、刻蚀管网和风干管网的下方进行清洗。刻蚀以及风干操作，从而即可在第一液泵与清洗管网的配合下在工件刻蚀前喷洒清洗液对其表面的污染物例如粉尘与油污进行清理，即对工

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117528945A

(43)申请公布日2024.02.06

(21)申请号202311523001.X

(22)申请日2023.11.14

(71)申请人浙江晶引电子科技有限公司

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