原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及电气元件，具体涉及一种便于限位晶圆的晶舟盒及其工作方法；本发明提供了一种便于限位晶圆的晶舟盒，盒本体和若干支撑限位组件，所述盒本体一侧开设有一开口；若干所述支撑限位组件滑动设置在所述盒本体内侧壁，且每两个所述支撑限位组件相对设置；其中，按压支撑限位组件的外活动端向下转动，以使晶圆片能够插入盒本体内；外活动端向下转动时，适于带动支撑限位组件的内活动端同步向上翻转，以限位晶圆片；内活动端向上翻转时，适于挤压位于下方的一个支撑限位组件向下滑动；通过支撑限位组件的设置，能够提高晶圆片在晶舟盒内
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117524949A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202410008044.2
(22)申请日2024.01.04
(71)申请人上海岚玥新材料科技有限公司
地址
文档评论（0）