原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明属于真空镀膜技术领域，旨在提供一种真空镀膜设备，包括架台，架台的顶部自左向右依次固定放置有过渡腔和四个镀膜腔，过渡腔与四个镀膜腔均相连通，过渡腔与最左侧的镀膜腔之间设有插板阀；过渡腔的腔体内设有工件移栽机构，四个镀膜腔的内部上端设有移动小车，每两个相邻的镀膜腔的连接处的下方均设有两个溅射源机构。本发明具有多个溅射源依次对工件进行镀膜、节约时间、方便拿取工件、方便根据工件调节溅射源于工件之间距离的优点。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117512533A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202410014466.0
(22)申请日2024.01.05
(71)申请人无锡嘉森光学科技有限公司
地址
文档评论（0）