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本发明公开了一种图像传感器温度变化导致的位置偏差补偿方法，包括如下步骤：步骤1、将带有预先设置好的样品标记的样品置于样品对准系统内的载物台，样品对准系统采集样品标记的实时位置信息；步骤2、设置一路参考标记，让参考标记在样品对准系统内生成位置误差信息；步骤3、位置偏差补偿，将实时位置信息与位置误差信息作差。优点，本发明方法，通过在图像采集系统中放置相对独立于被测面的参考光束及参考标记的方法，把图像采集过程中由于环境因素或者其他因素变化，尤其温度变化造成的像面位置误差全部引入可实时测量识别的参考标记
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117524911A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311478927.1H01L21/67(2006.01)
(22)申请日2023.11.
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