一种3D气体传感器、传感器制备方法及检测方法.pdfVIP

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2024-02-07 发布于四川
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一种3D气体传感器、传感器制备方法及检测方法.pdf

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本发明提供了一种3D气体传感器，属于微电子机械系统领域，包括硅衬底、下层绝缘介质层、下层敏感层、锚区、上层绝缘介质层和上层敏感层，下层绝缘介质层设置在硅衬底的上表面，下层敏感层设置在下层绝缘介质层的上表面，锚区设置在下层敏感层的上表面，上层绝缘介质层设置在锚区的上表面，上层敏感层设置在上层绝缘介质层的上表面，下层绝缘介质层和上层绝缘介质层均为悬臂梁结构且存在间距，还提供一种3D气体传感器的制备方法及检测方法；通过气体介质传递热量，利用热量传递时间进行传感器信号提取，信号发生源温度散热为气体导热占

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117517585A

(43)申请公布日2024.02.06

(21)申请号202311489968.0B81B3/00(2006.01)

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