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一种材料二次电子发射特性测量样品预处理装置.pdfVIP

一种材料二次电子发射特性测量样品预处理装置.pdf

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    本发明公开了一种材料二次电子发射特性测量样品预处理装置，包括真空腔体及真空泵，还包括加热装置，所述加热装置包括底桶及压盖；还包括驱动部，所述驱动部用于驱动压盖沿着底桶开口端的朝向方向运动；还包括样品存储台，在所述压盖扣合于底桶开口端上时，所述样品存储台位于底桶与压盖两者所围成的空间内；还包括抓取转运部及闸门部，所述闸门部作为所述封闭空间与真空腔体外侧的通道；所述加热装置用于对底桶与压盖两者所围成的空间进行加热。该预处理装置不仅能够有效消除样品表面吸附气体与挥发性有机沾染物对材料二次电子发射特性测

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN108896594A

    (43)申请公布日

    2018.11.27

    (21)申请号20181

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