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本发明提供了一种调焦调平系统、光学设备及调焦调平方法，调焦调平系统包括光源单元、投影成像单元、探测成像单元、分光偏振单元和探测器单元，所述探测器单元包括多个探测器；所述光源单元用于提供宽带光束；所述投影成像单元用于产生标记像并将带有标记像的宽带光束投射在待测目标面上；所述探测成像单元用于接收含有所述待测目标面高度信息的标记像的宽带光束；所述分光偏振单元用于将所述探测成像单元出射的宽带光束分成多个窄带光束以及将每个窄带光束分成P偏振光和S偏振光并传输至不同的所述探测器。能够对非线型标记的反射光进行
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117518724A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202210910481.4
(22)申请日2022.07.29
(71)申请人上海微电子装备（集团）股份有限公
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