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提供一种气体感测装置、包括其的电子装置和气体感测系统,该气体感测系统包括驱动电路芯片以及位于驱动电路芯片上的气体传感器、温度传感器和湿度传感器。气体感测系统基于温度感测结果和湿度感测结果中的至少一个来补偿气体感测结果,并生成气体感测信号。气体传感器包括第一谐振器和第一感测膜,第一感测膜被配置为感测第一气体并位于第一谐振器上以暴露于外部。温度传感器包括第二谐振器和位于第二谐振器上方以不将第二谐振器暴露于外部的封装层,并且湿度传感器包括第三谐振器。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN111103395A
(43)申请公布日
2020.05.05
(21)申请号20191
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