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一种8英寸晶圆盒传输存储系统.pdfVIP

一种8英寸晶圆盒传输存储系统.pdf

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    本发明公开了一种8英寸晶圆盒传输存储系统，包括存储库以及至少一台堆垛机，存储库内设有若干个储位托架，储位托架的宽度小于晶圆盒的宽度；存储库的外侧设有至少两个取放晶圆盒的物料工位，堆垛机上具有机械手，机械手在堆垛机带动下能在储位托架和物料工位之间来回移动；堆垛机包括能水平、垂直移动的垛码平台，垛码平台上设有能旋转、伸缩的机械手臂，机械手臂上设有取放晶圆盒的手指，手指内侧具有供储位托架放置的豁口，手指两侧具有托起晶圆盒的手指支架。采用托底部边缘的方式来取放8英寸晶圆盒，可以实现平稳取放、对不同厂家载

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117508957A

    (43)申请公布日2024.02.06

    (21)申请号202311249415.8

    (22)申请日2023.09.26

    (71)申请人苏州新施诺半导体设备有限公司

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