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一种具有高逆压电系数的铋基复合压电薄膜及其制备方法.pdfVIP

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  • 2024-02-07 发布于四川
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一种具有高逆压电系数的铋基复合压电薄膜及其制备方法.pdf

    本发明公开了一种具有高逆压电系数的铋基复合压电薄膜及其制备方法，组成为0.94(Bi0.5Na0.5)TiO3‑0.06BaTiO3)/xBi(Fe0.95Mn0.03Ti0.02)O3，其中x为所处位置，x＝0～3，(0‑无，1‑下，2‑中，3‑上)，其制备方法为溶胶凝胶法，按照化学计量比配置前驱体溶液，通过旋涂工艺将前驱体溶液按设计方案依次滴至洗净的Pt/Ti/SiO2/Si基片上旋转涂覆，后依次经过200℃‑450℃‑720℃热处理，重复上述旋转镀膜以及热处理工艺，直至薄膜厚度达到400～

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117529211A

    (43)申请公布日2024.02.06

    (21)申请号202311502045.4H10N30/092(2023.01)

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