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沉积装置、沉积方法以及显示面板.pdfVIP

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  • 2024-02-07 发布于四川
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沉积装置、沉积方法以及显示面板.pdf

    本申请公开了一种沉积装置、沉积方法以及显示面板，所述沉积装置包括：机台，包括机台本体以及凸出于所述机台本体的凸起部；以及框架，设于所述机台上且与所述机台相对设置；其中，所述框架包括框架本体，所述框架本体上设有通孔，所述机台的所述凸起部设于所述通孔内并凸出于所述通孔。本申请的技术效果在于，玻璃基板表面能全部覆盖薄膜层，提高基板的利用率，改善膜层的成膜均匀性，提高产品的市场竞争力。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117510090A

    (43)申请公布日2024.02.06

    (21)申请号202310080564.X

    (22)申请日2023.02.02

    (71)申请人苏州华星光电技术有限公司

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