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2024-02-07 发布于四川
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同步式晶圆键合对准系统.pdf

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本发明提供了同步式晶圆键合对准系统，包括热盘，限位机构，呈十字交叉对称配置的辅助对准机构及同步机构；限位机构包括支撑组件，第一驱动机构；辅助对准机构包括支撑悬臂，驱动支撑悬臂转动的旋转机构，同步机构包括同步连接组件，同步驱动支撑悬臂同步转动的第二驱动机构；第二驱动机构对称且同步地驱动位于热盘两侧的两个旋转机构转动，支撑悬臂远离旋转机构的末端形成渐缩端，渐缩端面向第二晶圆的一侧形成曲面，位于热盘一侧的两个支撑悬臂在同步张开过程中通过曲面引导第二晶圆向第一晶圆靠近并相互贴合。本发明降低了第一晶圆与第

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117524896A

(43)申请公布日2024.02.06

(21)申请号202311839666.1

(22)申请日2023.12.29

(71)申请人苏州芯睿科技有限公司

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