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本发明公开了一种晶圆研磨颗粒及其制备方法与应用，制备方法包括：(1)将超纯水、醇以及有机碱混合制备得pH为8以上的碱性溶液；将硅源与酸混合制备得到酸性水解液，与超纯水混合制备得到纯水水解液；(2)向碱性溶液中加入硅源搅拌反应得到初始粒子，再加入硅烷偶联剂搅拌，发生共缩聚反应，得到部分表面修饰上苯胺基团的功能粒子；(3)向系中加入酸性水解液，通过恒液面蒸发实现颗粒生长；再加入有机碱调节pH至9以上，加入纯水水解液，通过恒液面蒸发反应实现颗粒再次生长得到花生形硅溶胶。该方法制备的颗粒具有制备工艺简单
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117511502A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311480652.5
(22)申请日2023.11.08
(71)申请人北京航天赛德科技发展有限公司
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