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本发明公开了半导体真空自锁式插板阀，包括阀体，所述阀体顶端竖直设置有气缸，且气缸底端驱动设置有气缸活塞杆，并且气缸活塞杆于阀体内部进行升降，所述气缸活塞杆的底端竖直设置有密封插板，且密封插板竖直位于阀体内部，并且密封插板通过气缸与气缸活塞杆之间的配合于阀体内部进行升降移动，所述密封插板外部侧边均设置有插板止退块，且插板止退块与密封插板之间呈同向移动，并且密封插板外部底端套设有密封圈，进而使得插板止退块通过密封插板于阀体内部进行移动，所述阀体内部底端的两侧处斜向成型有密封面，且密封面的一侧成型有插
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117515184A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311486939.9F16K31/122(2006.01)
(22)申请日2023.11
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