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本发明公开了一种电离室顶孔结构、电离室及离子源，涉及离子产生设备技术领域；电离室顶孔结构，包括顶板，所述顶板中部设有安装槽，所述安装槽贯穿所述顶板设置；所述安装槽内适配有孔板，且所述孔板与所述顶板可拆卸连接，所述顶板中部设有顶孔，当离子束的均匀性不能满足生产要求时，直接拆掉孔板更换新的孔板即可，能够缩短真空脱气的时长和PM进行时间，从而减小材料的浪费和降低生产成本。电离室，包括电离室本体，于所述电离室本体顶部设有上述的电离室顶孔结构。离子源，包括放电组件，于所述放电组件放电端设有上述的电离室。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117524814A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202210908524.5
(22)申请日2022.07.29
(71)申请人成都高真科技有限公司
地址61
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