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加热处理装置和加热处理方法.pdfVIP

加热处理装置和加热处理方法.pdf

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    本发明提供加热处理装置和加热处理方法。在将基板在热处理空间中加热之际，防止热处理空间内的气流的停滞的产生而使升华物的排气所需要的排气量减少。热处理空间(S)的侧面部由具有外侧闸门(260)和内侧闸门(270)的闸门构件(250)构成。供气(A)从处于与载置台(210)的热板(211)上的晶圆(W)相同的高度的、闸门构件(250)下端部的空隙(d1)成为水平层流而朝向晶圆(W)供给，供气(B)从处于比晶圆(W)高的位置的闸门构件(250)的上端部的空隙(d2)向热处理空间(S)内供给。供气(A)的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN109545709A

    (43)申请公布日

    2019.03.29

    (21)申请号20181

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