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本发明提供一种离子束电流测定装置及计算方法、试样制成装置。不扰乱离子源内的离子化状态地计算出离子束电流值。本发明的一个方式具备：高压施加电路，其基于电压条件，向离子源的阳极与阴极之间施加电压来向阳极供给输出电流；气体流量调整机构，其调整向离子源内导入的成为离子材料的气体的流量；存储器，其记录有表示气体的流量与向引出电极流动的引出电流的值之间的关系的信息；以及运算处理部，其基于存储器中记录的信息来求出与气体的流量对应的引出电流，从由高压施加电路向阳极供给的输出电流的值减去引出电流的值，来计算离子束
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN111564352A
(43)申请公布日
2020.08.21
(21)申请号20201
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