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本发明提供一种能够抑制由振动元件产生的振动的衰减的振动器件、振动装置及振动器件的制造方法。振动器件(2)包括：振动元件(21)；基板(20)，形成有载置振动元件(21)的载置面(20a)；壁部(20b)，形成于载置面(20a)的周围；以及灌封层(24)，在由壁部(20b)包围的内侧，对载置于基板(20)的载置面(20a)的振动元件(21)进行密封。振动器件(2)经过如下步骤而制造：在基膜(200)上层叠形成有开口的保护膜(201)而形成基板(20)的步骤；在基板(20)上，在保护膜(201)的开
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117529212A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202310800780.7H10N30/20(2023.01)
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